PRODUCTS
产品及应用
主要电子特种气体
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产品名称 |
主要应用领域及应用工艺 |
所处阶段 |
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集成电路 |
新型显示 |
光伏 |
LED |
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高纯三氯化硼（6N5） |
刻蚀、掺杂 |
刻蚀 |
掺杂 |
刻蚀 |
量产 |
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超纯氨（7N5） |
沉积、外延 |
沉积 |
沉积 |
沉积、外延 |
量产 |
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高纯氧化亚氮（6N） |
沉积 |
沉积 |
沉积 |
沉积 |
量产 |
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